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FA失效分析检测设备
4寸探针台
Failure analysis 集成电路失效分析Wafer level reliability 晶元可靠性认证Device characterization 元器件特性量测Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)IC Process monitoring 制成监控Package part probing IC封装阶段打线品质测试ESD&TDR testing ESD和TDR测试Microwave probing 微波量测(高频)Solar太阳能
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6寸探针台
Failure analysis 集成电路失效分析Wafer level reliability 晶元可靠性认证Device characterization 元器件特性量测Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)IC Process monitoring 制成监控Package part probing IC封装阶段打线品质测试ESD&TDR testing ESD和TDR测试Microwave probing 微波量测(高频)Solar太阳能
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8寸探针台
Failure analysis 集成电路失效分析Wafer level reliability 晶元可靠性认证Device characterization 元器件特性量测Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)IC Process monitoring 制成监控Package part probing IC封装阶段打线品质测试ESD&TDR testing ESD和TDR测试Microwave probing 微波量测(高频)Solar太阳能
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12寸双面探针
Chuck StageX-Y travel coarse 300 mm x 300 mmX-Y travel fine 10 mm x 10 mm （resolution < 1 µm）Z up/down 10 mmTheta travel ± 7ºPlanarity < ± 5µm 平坦度Probe Platen DriveZ trave l25mm resolution < ± 1 µmManual Microscope（1000X OR100x option）Travel rangeX-Y-Z 50 mm x 50 mm x 50 mmRes
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12寸探针台
Failure analysis 集成电路失效分析Wafer level reliability 晶元可靠性认证Device characterization元器件特性量测Process modeling塑性过程测试(材料特性分析)IC Process monitoring 制成监控Package part probingIC封装阶段打线品质测试ESD&TDR testing ESD和TDR测试Microwave probing 微波量测(高频)So
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AutoCurveTracer自动曲线追踪仪
Smart-1 Auto Curve Tracer 产品规格功能说明1. 机台主要功能:Open/Short Test ( IC 之断/短路测试)Auto I / V Curve Tracing & compare function with Known-Good-Device ( 自动 I / V 曲线量测与比对分析)Unpowered & Powered Leakage test ( IC Power Pin Bias or IC Power Pin 不加电压之漏电
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龙门探针台
1.龙门机构移动范围：X(500mm)*Y (400mm)2.切换镜头行程：280mm3. Stage 固定不动4.龙门机构手遥杆电动移动（选配）5.Laser (选配）6.防震系统：主动式防振系统（选配）7.高低温加热系统（-40℃～300℃)8.采用Mitutoyo 光学显微鏡图纸为某光电客户定制龙门手动探针台。适用行业：TFT-LCD , STN-LCD, OLED ,半导体行业
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