项 目

性能指标

备注

可测圆片尺寸

4，6 ,8 ，12inch

CHUCK

行程

X/Y：305×305mm（Air-bearing stage 技术）含锁死装置

分辨率

1μm

控制

进口导轨

平面度

≤5μm

背面需要加电极（可选）

晶圆固定方式

真空吸附，分档控制

Chuck Z轴（可选）

行程

10mm

分辨率

1μm

Chuck θ轴（可选）

微调范围

±5 º （分辨率为0.1°）

Platen 平台

材料

非抛光型不锈钢+特种铝合金制

快速升降

10mm ，上下微调行程：30-50mm 精度１uｍ

容量

6-8个DC针座或者4个RF针座

Chuck θ轴（可选）

配置

体式显微镜

1.目镜：20X 2.变倍范围：0.75X-5X 3.总放大倍数：15x-100x 4.LED 光源照明

金相显微镜

1.目镜：20x 2.Zoom：1-2x 3.物镜：2x，10x，20x，50x

4.总放大倍数：20x-1000x 5.光纤光源系统

根据客户测试

参数要求而定

Platen 平台

行程

X/Y:2 inch x 2inch (分辨率：1um) Z: 2inch

显微镜

气动升降

显微镜气动升降便于更换物镜

屏蔽罩（可选）

L1350*W900*H1300mm

防震桌（可选）

W*D*H:1100*800*900mm