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高低温卡盘系统
实测升降温数据(国外某客户 12”chuck)
实测升降温数据(国外某客户12”chuck):测试条件:试数据:升温速度:从25°C升温到200°C的升温时间为22分钟,可以满足升温时间小于30分钟规格。从-55°C升温到25°C的升温时间为9分钟,可以满足升温时间小于15分钟规格。降温速度:从200°C降温到25°C的降温时间为14分钟,可以满足降温时间小于22分钟规格。从25°C降温
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实测漏电数据(国外某客户)
实测漏电数据(国外某客户):温度200℃,电压3000V ,漏电流远小于50pA 实测数据<6.429pA温度200℃,电压10V ,漏电流远小于2pA 实测数据<349fA温度25℃,电压3000V ,漏电流远小于50pA 实测数据<11.729pA温度25℃,电压10V ,漏电流远小于2pA 实测数据<157fA温度-55℃,电压3000V ,漏电流远小于50pA 实测数据
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高低温卡盘产品
-60℃-200℃-60℃-300°C高低温卡盘系统
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