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实测升降温数据（国外某客户 12”chuck）

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实测升降温数据（国外某客户12”chuck）：

测试条件：

试数据：

升温速度：

从25°C升温到200°C的升温时间为22分钟，可以满足升温时间小于30分钟规格。

从-55°C升温到25°C的升温时间为9分钟，可以满足升温时间小于15分钟规格。

降温速度：

从200°C降温到25°C的降温时间为14分钟，可以满足降温时间小于22分钟规格。

从25°C降温到-55°C的降温时间为37分钟，可以满足降温时间小于48分钟规格。