探针台是半导体表征参数测试测量非常常用的设备，应用范围非常广泛。本文，我们仅就手动探针台及其半导体测试测量应用进行讨论。

首先，我们来看看对于探针台（机械探针台）的定义：

“Mechanical Probe Station: The probe station utilizes manipulators which allow the precise positioning of thin needles on the surface of a semiconductor device. If the device is being electrically stimulated, the signal is acquired by the mechanical probe and is displayed on an oscilloscope or SMU.”

尽管以上定义对于测量仪器的描述比较窄（探针台早期的用法），但从上面我们不难了解到，探针台是一个实现精密探针定位、为用户提供半导体待测点至测量仪器连接通路的设备。它主要包含了探针台、定位器、探针、探针夹具及电缆组件。

1、探针台。

探针台属于整个测试系统的基础，没有探针台，就相当于医生没有了手术台，在普通的病床上给病人做手术，将极大地增加手术风险。探针台可按实现目标功能不同划分成三部分：显微镜、承载平台和精密移动组件。

（1）显微镜。没有该配置，所有精密操作将无从谈起。目前行业内常见的配置有三种：体视显微镜、金相显微镜、单筒显微镜，前两种用得多。

（2）承载平台。该部分是构成探针台骨架，可分为显微镜支架、定位器平台和样品台（载物台）。

不同的显微镜，显微镜的支架会有所不同，通常有立柱安装和龙门安装两种配置。

定位器平台用于放置定位器（探针座）、形状和尺寸根据测试应用不同会有不同的设计形式。

样品台（载物台）用于承载待测样品，通常根据晶圆尺寸设计，常用的尺寸从2～12英寸。除了承载样品的功能，样品台还可根据测量需求，设计为带测量通路和带精密控温的形式。

（3）精密移动组件。以上承载平台都配套了相应的移动定位功能，方便用户对显微镜、待测样品及定位器进行精密的移动。通常有X-Y-Z-R-T这些方向移动功能。